制氧机工作流程主要由制冷系统和精馏系统所组成。详细可分为十大系统，即空气压缩系统、 空气净化系统、换热系统、制冷系统、精馏系统、安全防爆系统、氧气压缩输送系统，加 温解冻系统，仪表自控系统以及电控系统。

空分装置的流程组织需要根据设计任务书的要求，既要保证产品的质童和数量，又要 低电耗、省投资，还要保证安全运转及便于维修。

山东制氧机的分类很多，按产品的状态分为产气氧、产液氧、既产气氧又产液氧的制 氧机；按产品种类分有单髙产品、双高产品（氧和氮）带氩制氧机（氧、氮和氩〕及全提 取（氧、氮、氩及其他稀有气体，制氧机的操作压力是由低温循环系统压 力而决定的。高压流程的液化循环是以节流为基础的低温循环；中压流程的液化循环是以 克劳特循环为基础的，而低压流程的液化循环的基础是卡皮查循环。

制氧机按换热器类型分，可分为板式、管式、管板式制氧机。我国目前生产的小型制氧机仍以中压流程为主。中、大型有蓄冷器或板式切换式換热 器流程还有较先进的分子筛纯化器及增压透平膨胀机流程。

工业制氧设备的原理是使用空气别离技能，首先将空气以高密度紧缩再使用空气中各成分的冷凝点的不一样使之在必定的温度下进行气液脱离，再进一步精馏而得。工业上的用氧通常是经过此物理办法得到的。 制氧机又名空气别离设备。 按产品数量不一样，可分为800m3/h以下小型设备；1000—6000m3/h中型设备；10000m3/h以上大型设备。 所谓的800m3/h ，1000—6000m3/h 表明制氧设备从空分塔的每小时产值。中国制氧设备大体由空压机.预冷设备，纯化设备，空分塔等组成。